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薄膜厚度测量系统
光谱椭圆测量仪(SE)是一种工业标准技术，可以精确测量薄膜的厚度和光学常数，同时，它也被用于各种材料(如电介质、半导体、有机物等)的表征，包括AR涂层、OLED和低(高)-k材料。
特点
1.Easy Operation & Fast Measurement
1.操作简单，快速测量
2.High Reproducibility
2.高重现性
3.User-Friendly Operation
3.人性化操作
4.Non-contact & Non-destructive
4.非接触&无损伤
5.Multi-Layer Measurement
5.多膜层
6.In-Situ (Sutter, ALD,PECVD etc.)
6.在线测量（磁控溅射,ALD,PECVD,等等）
应用
·Thickness of Dielectrics, Semiconductors, Polymers,
介质层，半导体，聚合物的厚度测量
·Supporting Backside/Front side Reflections
支持正反面反射
·Very Thin Films, Very Thick Films
非常薄膜层，非常厚膜层
·Variable Substrates (Silicon, GaAs, Al, Steel, Glass, Al2O3, PC, PET, Polymer films and Others)
多种衬底（Silicon, GaAs, , Al, Steel, Glass, Al2O3, PC, PET, Polymer以及其他膜层）
Semiconductor: Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4
半导体材料：Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4
- Display(incl. OLED) : ITO, PR, MgO, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2 , ONO
显示（包括OLED）：ITO, PR, MgO, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO
- Dielectrics: SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, Wet oxides
介质：SiO2 , TiO2 , Ta2O5 , ITO, AIN, ZrO2 , Si3N4 , Ga2O3 , 湿式氧化物
- Polymer: Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
聚合物：Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
- Chemistry: Organic film(OLED) & LB Thin film
化合物：有机膜（OLED）&LB膜
- Solar cell: SiN, a-Si, poly-Si, SiO2 , Al2O3
太阳能电池：SiN, a-Si, poly-Si, SiO2, Al2O3指标特点
Elli-SE
μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer
图片 测量常数 膜层厚度，折射率n，消光系数k，波长λ 膜层厚度，折射率n，消光系数k，波长λ 膜厚范围 亚埃级-10微米（取决于膜层） 亚埃级-10微米（取决于膜层） 波长范围
240 ~ 1050 nm （紫外线）
or 380 ~ 1050 nm
光谱范围选项：Duv深紫外:193nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
240 ~ 1050 nm（紫外线）
光谱范围选项：Duv深紫外:190nm, IR红外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
测量能力
正常模式（~10 sec）
快速（1~3 sec）每点（取决于膜层）
正常模式（~10 sec）
快速（1~3 sec）每点（取决于膜层）
束斑直径-尺寸 1.5 mm (可选 100μm, 50 μm, 20 μm) 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm 入射角 45°~90°（自动变换角度） 45°~90°（自动变换角度） 膜层数量 多至10层（取决于膜层） 多至10层（取决于膜层） 重复性 10次测量在(3σ) ±0.3 Å 10次测量在(3σ) ±0.3 Å 色散关系 Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力学）, Drude-TL, Drude-QM 等 Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力学）, Drude-TL, Drude-QM等 提供功能 折射率、消光系数和光带隙
薄膜密度和组成，材料的色散函数库
用户定义的模型功能，数据导入和导出功能，可扩展库折射率、消光系数和光带隙
薄膜密度和组成，材料的色散函数库
用户定义的模型功能，数据导入和导出功能，可扩展库应用 介质层，半导体，聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层，非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池 介质层，半导体，聚合物的厚度测量、支持正反面反射、非常薄膜层，非常厚膜层、多种衬底、半导体材料、显示、介质、聚合物、化合物、太阳能电池
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北京朗铭润德光电科技有限公司
高温真空快速退火炉，磁控溅射设备，尾气处理设备，氧化炉，扩散炉，LPCVD，Flowlink阀门，椭偏仪，接触角测量仪和等离子清洗机，石墨纯化炉
谷瀑 > 韩国Ellipso光谱椭偏仪Elli-SE
韩国Ellipso光谱椭偏仪Elli-SE
页面价格仅供参考，具体请联系报价价格 价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格- 产品型号：Elli-SE
- 品 牌：韩国Ellipso
- 所 在 地：北京
- 更新日期：2020-06-19
合计：1台总价：电议北京朗铭润德光电科技有限公司 地址： 北京市石景山区八大处路49号院点石商务1号楼903室内容声明：谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者，谷瀑（含网站、客户端等）所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布，其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实，如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的，请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认；谷瀑上存在海量店铺，如您发现店铺内有任何违法/侵权信息，请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。
